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第四百七十三章 密室失败事件

第四百七十三章 密室失败事件 (第2/2页)

「丁工放心。」
  
  韩路——边说着一边打开了视界。
  
  眼前的日志马上被视界染上了不同的颜色。
  
  韩路一静静地翻着日志记录。
  
  这个日志量极为庞大,生产管理系统管理的各个产线的光刻机在生产流程中产生的所有日志都汇聚在一起,绝大部分都写着【inf】级别,记录着一些操作信息,只有极少数出现了【arn】和【errr】。
  
  丁耀先解释道:「这里我们也第一时间排查了,系统这里看没有对应的错误信息,肯定不是这的问题。」
  
  然後他看韩路一没有说话,仿佛已经进入了非常专注的状态,为了不打扰韩路一,乾脆闭嘴不说了,也没有给其他人介绍韩路一的身份。
  
  几个值班工程师看是丁耀先亲自带进来的人,还是一进来就看日志,也不知道发生了什麽,只是分出些余光看向这里,偷偷关注着。就这麽看了几分钟,韩路一突然开口问道:「上次出问题是今天凌晨?」
  
  他已经翻回了视界标出问题的第一个日志,记录上有一个时间戳为【02:07:33.129】的日志被视界标红了。
  
  丁耀先听後猛然一惊,问道:「你怎麽知道?」
  
  他急得连敬称都忘了用了。
  
  韩路一用手指着屏幕上的那行日志,说道:「你看,这里出错了。」
  
  周围的几个工程师也早都围了过来。
  
  此时屏幕上显示的上上下下密密麻麻的日志,都是【inf】级别的,没有任何错误标出来。
  
  这个人怎麽就这麽笃定这出错了?
  
  过去两周的时间,这工作日志他们都不知道查了多少次了,也没看出什麽问题来。
  
  旁边一个负责维护自研系统的工程师不知道韩路一的身份,但是听他这话,忍不住出声道:「诶,你怎麽说话呢?这行日志不是很正常吗?状态码200,光刻机也正常接收了,没有任何报错信息。」
  
  听这个工程师语气不是很好,丁耀先正要喝止,韩路一倒是没在意,直接说道:「通信是成功了,但是数值有偏差。」
  
  说完韩路一补充了一句:「不好意思,我操作一下。」然後用滑鼠键盘把那行日志复制下来,放到旁边的一个新建文档里,又向上滚动,找到了另外几条日志,把里面的内容复制了下来,依次粘贴在了文档里。「这条日志记录的是对齐补偿参数吧,1.341289,後面的单位是纳米?」韩路一边看边问道。
  
  刚才反驳他的工程师看他这麽快速地就手动抓取了几条日志,感觉思路有点跟不上,正在专心读日志里的内容,没有说话,倒是丁耀先回答道:「对,这是我们系统计算出的数值,下面那一行是光刻机给的回执,1.3413纳米,因为光刻机的精度没到0.1皮米这个级别,後面的数值就约掉了,韩总,您对——」
  
  刚解释完,就听见刚才说话的那个年轻工程师突然叫道:「不对啊,怎麽会是1.2呢?」
  
  丁耀先话说到一半被打断,转头看过去,只见那个工程师直勾勾地盯着屏幕上的日志,丁耀先也顺着他的目光看向屏幕。
  
  刚才他和韩路一讨论的是之前的一段正常时间的输入值和返回值。
  
  而韩路一第一次复制出来的,那个凌晨两点,恰好是错误批次的输入值和返回值,分别是1.299998和1.2000,丁耀先也马上意识到问题了。
  
  差了将近零点一纳米!
  
  对使用多重曝光技术来实现七纳米的工艺来说,0.1纳米的误差,再经过几次叠加放大,这麽大的偏差足够直接导致晶圆片上的电路报废了。
  
  这是怎麽回事?
  
  意识到发生了什麽的丁耀先赶紧对屋子里的其他几个人大声说:「快!快把之前的事故记录的时间找出来,找到对应的日志,看看是不是都是这种情况!」
  
  单看今天凌晨的这一次,这个日志已经足以证明这个问题会导致晶圆片报废了,但是他们还要验证之前的几次是不是也是同样的原因。
  
  监控室里的人都迅速行动起来,调出事故记录,找到对应时间,翻找对应的日志记录。几个人分开在几台电脑上操作,几分钟之後,第一个人有了结果。
  
  「丁工,定位了,昨天晚上的那次失败也有同样的精度问题,0.999997被约成了0.9000!」
  
  然後其他几个人也都有了发现。
  
  「我这里也找到了一个,2.199999的返回值是2.1000!」
  
  「我这里也是!」
  
  很快他们就找到了七八条在失败批次时间出现的记录,都是同样的精度丢失的问题。
  
  这下子基本上可以确定问题出在哪里了。
  
  如果说一次是巧合,总不可能七八次都是巧合。
  
  接下来就是怎麽修的问题了。
  
  既然问题的规律已经找出来了,总有办法解决,现在的补偿值是管理系统通过光学测量仪器读取之後直接送到光刻机的,光刻机的取近似出了问题,那就不让光刻机来做这个工作好了,把补偿值在管理系统里做好了再给光刻机,总不能再出类似的问题了?
  
  软体团队的负责人不在场,丁耀先先问了一句:「如果把取近似的功能提前到我们的系统里,你们觉得多快可以做完?」
  
  几个软体工程师面面相觑,都不敢给出答覆。这管理系统已经两年没动了,之前都是在维护,如果现在急着修,再修出更大的问题怎麽办?
  
  更何况他们也做不了这个决定。
  
  现场陷入了一阵尴尬的沉默。
  
  丁耀先心里又喜又急又气,说道:「算了,我先汇报给廖总。」
  
  韩路一在突然插了一句:「如果不能马上修这个问题,不如就先加个阻断的逻辑,检测到这个格式的数据就先不要进行曝光。」
  
  这是网际网路线上事故的处理流程。
  
  先止血,再修复,再找根本原因。
  
  其实生产上也是这个流程,只是丁耀先一时情绪激动,还没想到。
  
  他看了韩路——眼,说道:「韩总,谢谢您了!」
  
  说完到旁边拿起了一个固定电话。
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