第四百七十三章 密室失败事件 (第1/2页)

上午九点多，韩路一从起源集团的总部大楼出来，走着来到了冰芯的厂区。
　　
　　上次见过一面的工艺负责人丁耀先带着两个人正等在厂区的门口。
　　
　　看到韩路一独自一人走着过来，车都没坐，秘书、助理也没跟着，丁耀先的脸上冒出了一丝诧异，然後又是一丝无奈。
　　
　　产线的问题正是焦头烂额的时候，加班加点都解决不了，这个合作夥伴的大老板偏偏要这个时候来看产线。
　　
　　这是什麽，高规格的商业旅游吗?
　　
　　丁耀先只觉得麻烦。
　　
　　怪不得廖总出差去了，让我来接待。
　　
　　等到韩路一走近，丁耀先已经整理好了表情，招呼道：「韩总，早啊。」
　　
　　「丁工早，好久不见。廖总不在啊?」韩路一问道。
　　
　　「廖总出去谈技术支持的事情了，让我来接待您一下。」
　　
　　韩路一了然，这个产线上的问题对冰芯来说确实是重中之重，现在内部解决不了，廖伯韬想着请外援呢。
　　
　　至於韩路一，他可没指望能靠韩路一来解决问题。丁耀先带着韩路一先去办公区签了厚厚的一叠补充保密协议，然後让他把手机、手表等各种电子设备都放进屏蔽柜之後，几人又穿过两层门禁，走进生产线区域前的更衣室。
　　
　　每个人都要在这里换上连体的无尘服和无尘帽，看着就像是简易版的太空衣。
　　
　　旁边的丁耀先看着韩路一嘴唇上的一点儿血痂，不由得多看了一眼。
　　
　　韩路一尴尬地笑了笑，说道：「最近天气乾燥，有点儿上火。」说完把口罩戴上，遮住了脸。
　　
　　丁耀先说了一句：「韩总，那您得多喝水啊。」然後私底下想道：最近天气乾燥嘛?不是挺潮的吗，厂房里还得额外防潮。
　　
　　一段小插曲过去，几人一起走进了整个晶圆厂最核心的区域——
　　
　　光刻黄光区。
　　
　　为了防止空气中的自然光线让原料光刻胶提前曝光，整个厂区全天二十四小时笼罩在特制的黄色人工光线之下。黄色光波长长，携带的能量小，不会让光刻胶曝光。
　　
　　几人一直走到一台巨大的工业设备面前停了下来。
　　
　　丁耀先开口道：「韩总您看，这就是我们产线的核心设备了，阿斯麦生产的tinscannxt系列浸没式v光刻机。」
　　
　　韩路一认真地点了点头。
　　
　　其实韩路一哪懂这个。他对光刻技术完全是个门外汉。但是他今天来却要解决冰芯的产线问题。
　　
　　「丁工，具体是什麽问题?」韩路一出声问道。
　　
　　丁耀先指了指面前的几台设备，说道：「症状就是套刻误差大，但是没有任何规律，这几个设备都出现过问题，又不是每次都会出现，有的时候连着十几个批次都没问题，突然冷不丁一出来，一批晶圆片就都废了，太头疼了。」
　　
　　他倒是宁愿问题出在一个固定的机器上，哪怕机率再高点儿。
　　
　　这种随机出现在各个产线的上的问题才最影响生产管理。
　　
　　「套刻误差是什麽?」韩路一接着问道。
　　
　　丁耀先看了韩路——眼。
　　
　　不是，你连套刻误差都不知道?是来干什麽来着?
　　
　　但他知道这位韩总本职是做软体出身，还是耐心地解释道：「上次咱们讲过，我们冰芯的七纳米制程是通过多重曝光的技术实现的，一次曝光之後，要重新对齐，用新的图案再曝光一次，这就是套刻。套刻之间的误差要控制在纳米级，不然出来的图案就废了。」
　　
　　听到这，韩路一知道问题的棘手之处了。
　　
　　拼接本身是个问题，但更严重的问题是随机出现。
　　
　　如果每次曝光都出问题，那说明拼接的算法不对，要打回去重做；可如果是随机出现的话，就说明拼接的算法没问题，那问题从哪来呢?韩路一开着视界扫了一圈。
　　
　　整个厂房各个物品的标签都弹了出来。
　　
　　先是眼前的巨兽：
　　
　　【设备:asmltinscannxt系列浸没式v光刻机】
　　
　　【状态：健康】
　　
　　【驱动软体：asml原生驱动】
　　
　　旁边的生产线：
　　
　　【设备：前道全自动涂胶显影机】
　　
　　【状态：健康】
　　
　　【驱动软体：原厂驱动】
　　
　　看起来都没什麽问题。
　　
　　旁边的丁耀先又加了几句：「韩总，您是不知道，能查的地方我们都查了，镜片的温差畸变、原料光刻胶的批次活性，甚至连旁边有车辆路过的时候厂房的微震动都检测了，全都没有相关性。」说完他叹了口气：「出现了这种状况，要是之前早就请原厂工程师来了，但是现在售後全都断了，他们的工程师过不来不说，连远程诊断也做不到。」
　　
　　听起来就像是个密室杀人事件。
　　
　　如果硬体都没问题的话，那就是软体了?
　　
　　售後断了，现在用的是什麽软体?
　　
　　韩路一把心里的疑问问了出来。
　　
　　「是我们自研的管理系统，但是已经用了快两年了，肯定不是这的问题。」丁耀先一听就明白了韩路一的意思，也有点儿不以为然。
　　
　　工业生产可不是网际网路产品，能用的东西都不会轻易变动。
　　
　　当初为了多重曝光的技术他们研究了这个作业系统，之後为了稳定性就没动过。一个两年没动过的东西怎麽会突然出问题?
　　
　　韩路一又看了一会儿，突然出声：「丁工，你们的监控室在哪啊，能去看看吗?」
　　
　　丁耀先已经看出韩路一没什麽头绪了，心里也不抱什麽希望。
　　
　　厂里几十个半导体工程师，研究了半个月了都没看出门道来，还能让一个外行把问题解决了?
　　
　　他现在只想韩路一早点看完走人，他们好继续排查。还好，监控室的密级并不比生产区更高。
　　
　　几人又一起走进中央监控室，里面有几个值班工程师，每个人都显得压力重重。进门之後，韩路一指着旁边的大屏幕说道：「管理系统的运行日志能看到吗?」
　　
　　他没问光刻机的日志，那个是设备加密的，连冰芯也看不到。
　　
　　丁耀先让一个值班工程师把最近两周的工作日志调出来，然後对韩路一说道：「韩总，我们这个系统也是核心工艺的一部分，您是不能外泄的啊。」
　　
　　

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